ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА ДО-ПОЛНИТЕЛЬНО ВОЗМУЩЕННОЙ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИМ ПОЛЕМ

A. U. Utegenov; Y. A. Ussenov; M. K. Dosbolayev; T. S. Ramazanov

ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА ДО-ПОЛНИТЕЛЬНО ВОЗМУЩЕННОЙ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИМ ПОЛЕМ

Авторлар

A. U. Utegenov НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, Алматы, Казахстан
Y. A. Ussenov НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, Алматы, Казахстан
M. K. Dosbolayev
T. S. Ramazanov НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, Алматы, Казахстан

21 9

Аннотация

На данной работе представлены результаты по зондовой диагностике свойств плазмы в высокочастотном разряде с дополнительным возмущением постоянным электростатическим полем. Представлены вольтамперная характеристика электрического зонда в комбинированном разряде, а также аксиальное распределение температуры электронов при разных значениях напряжения постоянного поля.

Ключевые слова: высокочастотный разряд, плазма, электростатическое поле, зондовая диагностика, температура электронов

Жүктелулер

Как цитировать

Utegenov, A. U., Ussenov, Y. A., Dosbolayev, M. K., & Ramazanov, T. S. (2021). ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА ДО-ПОЛНИТЕЛЬНО ВОЗМУЩЕННОЙ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИМ ПОЛЕМ. Ashyq júıeler evolúsıasy máseleleri jýrnaly, 18(2), 23–27. вилучено із https://peos.kaznu.kz/index.php/peos/article/view/99