ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА ДО-ПОЛНИТЕЛЬНО ВОЗМУЩЕННОЙ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИМ ПОЛЕМ
Аннотация
На данной работе представлены результаты по зондовой диагностике свойств плазмы в высокочастотном разряде с дополнительным возмущением постоянным электростатическим полем. Представлены вольтамперная характеристика электрического зонда в комбинированном разряде, а также аксиальное распределение температуры электронов при разных значениях напряжения постоянного поля.
Ключевые слова: высокочастотный разряд, плазма, электростатическое поле, зондовая диагностика, температура электронов