ПОЛУЧЕНИЕ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ КОМПОЗИТНЫХ ЧАСТИЦ И ПЛЕНОКВ КОМПЛЕКСНОЙ ПЛАЗМЕ С ПОМОЩЬЮ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Аннотация
В данной работе показаны результаты экспериментальных исследований различных режимов получения композитных пылевых частиц с наноструктурированными поверхностными слоями, наночастицы и нанопленок в комплексной (пылевой) плазме газового разряда с помощью метода магнетронного распыления в постоянном токе, а также были определены эффективные параметры эксперимента. Для получения комплексной плазмы был применен высокочастотный емкостной газовый разряд. Такая комплексная плазма является открытой системой [1,2]. Пылевая структура (кристалл) в плазме образовалось внедрением извне полидисперсных сферических макрочастиц стекла, используя специально разработанный механизм. Алюминиевый нанослой на поверхностях макрочастиц был осажден с помощью магнетронного распыления. Наночастицы углерода в объеме газового разряда синтезируется в результате плазмохимического процесса, для протекания этого процесса использовался смесь газов аргона и метана (10 %). Образование углеродных наночастиц (их рост) состоит из нескольких этапов, один из них образование монокристалла из нанокластеров углерода с размерами 2-3 нм. Диапазон времени, затраченный на данный процесс, определялся экспериментально. Во время образования монокристалла углерода к ним направляется поток распыленных микрочастиц меди с помощью магнетрона. В результате чего получаем композитные наночастицы состоящие из углерода и меди. Таким образом, были получены лабораторные образцы композитных пылевых частиц, наночастиц и пленок с наноструктуированными слоями. Проведены химический анализ состава образцов и определены их геометрическиеформы и размеры с помощью электронного микроскопа.
Ключевые слова:высокочастотный емкостной газовый разряд, комплексная (пылевая) плазма, плазменно-пылевая структура, магнетронное распыление.
