КОМПЛЕКСТІ ПЛАЗМАДА МАГНЕТРОНДЫҚ ТОЗАҢДАНДЫРУ КӨМЕГІМЕННАНОҚҰРЫЛЫМДЫ КОМПОЗИТТІ БӨЛШЕКТЕР МЕН ҚАБЫҚШАЛАР АЛУ
Аннотация
Қарастырылып отырған жұмыста тұрақты токтағы магнетрондық тозандандыру әдісі көмегімен газдық разрядтың комплексті плазмасында(тозаңды плазма) наноқұрылымды қабатты композитті тозаңды бөлшектер, нанобөлшектер және нано қабықшалы бетер алудың түрлі режимдері зерттеліп, эксперименттердің тиімді параметрлері анықталды. Комплексті плазма алу үшін жоғары жиілікті сиымдылықты газдық разряд қолданылды. Комплексті плазма - ашық жүйе [1,2]. Плазмадағы тозаңды кұрылым (кристалл) шынының полидисперсті сфералық макробөлшектерін арнайы механизм көмегімен сырттан енгізу арқылы пайда болды. Макробөлшектер бетіндегі наноқұрылымды алюминий қабат магнетрондық тозаңдандыру көмегімен алынды. Көміртегі нанобөлшектер газдық разряд көлемінде плазма химиялықпроцестердің жүруінен пайда болады, ол үшін аргон және метан (10 %) газдарының қоспасы қолданылды. Көміртегі нанобөлшектерінің пайда болу (өсу) процесі бірнеше этаптардан тұрады, оның бірі өлшемдері 2-3 нм болатын көміртегі нанокластерлерінің монокристалының түзілуі. Бұл процестің жүруінің уақыт диапазоны эксперименттік жолмен анықталды. Осы процесс жүру кезінде көміртегі нанокластерлеріне магнетрондық тозаңдандыру көмегімен мыс микробөлшектерінің ағыны бағытталады. Нәтижесінде мыс және көміртегіден тұратын композитті нанобөлшектер алынды. Осылайша, бірнеше рет қайталанып жасалған эксперименттер нәтижесінде композитті тозаңды бөлшектердің, нанобөлшектердің және наноқұрылымды қабықшалы беттердің лабораториялық үлгілері алынды және олардың химиялық құрамы, геометриялық өлшемдері электрондық микроскоп көмегімен анықталды.
