ФОСФОРМЕН ЛЕГИРЛЕНГЕН КРЕМНИЙ НАНОТАЛШЫҚТАРЫНЫҢ ЕКІНШІ РЕТТІК ИОНДЫҚ МАСС-СПЕКТРОСКОПИЯСЫ

Авторлар

  • Г.К. Мусабек Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Алматы, Казахстан https://orcid.org/0000-0002-1177-1244
  • K.K. Диханбаев Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Алматы, Казахстан
  • В.А. Сиваков Лейбниц Институт фотонных технологий, Йена, Германия https://orcid.org/0000-0002-3272-501X
  • Д. Ермухамед Национальная Нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Алматы, Казахстан
  • А.С. Курмаш Национальная Нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Алматы, Казахстан
  • Т.И. Таурбаев Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Алматы, Казахстан
  • А.С. Джунусбеков Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Алматы, Казахстан
  • Ш.Б. Байганатова Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Алматы, Казахстан
        57 46

Аннотация

Берілген жұмыста термодиффузия әдісін қолданып фосфор атомдарымен легирленген кремний наноталшықтарын екінші реттік иондық массспектроскопия әдісімен зерттеу нәтижелері келтірілген. Кремний наноталшықтары беті жылтыратылған және тегістелген монокристалды кремний пластиналарынның бетінде металл енгізілген химиялық жеміру әдісімен қалыптастырылған. Кремний наноқұрылымдарын фосфор атомдарымен легирлеу 900 - 980 °С температурада 15 - 40 минут бойы жүзеге асты. Екінші реттік иондық масс спектроскопиясының көмегімен фосфор атомдарының жылдырлатылған және тегістелген беттерде қалыптысқан наноталшықтардың қалындығы бойынша таралуы зерттелініп, үлестірілуінің динамикалық профильдері есептелінген. Екінші реттік иондық масс спектроскопиясының P-Si қосылыстарының үлестірілуінің динамикалық профильдерін талдау нәтижесінде фосфор атомдарының максимальді концентрациясы негізінен наноқұрылымды қабаттқа енетіні және көлемдік кремнийге аз таралатындығы анықталған. Зерттеулер нәтижесінде берілген кремний наноталшықтары үлгілері үшін легирлеуші қомпа атомдарының диффузиялық енуінің терендігі шамамен 1300 нм тең деп бағаланған.

Жүктелулер

Как цитировать

Мусабек, Г., Диханбаев K., Сиваков, В. ., Ермухамед, Д., Курмаш, А. ., Таурбаев, Т. ., Джунусбеков, А. ., & Байганатова, Ш. (2021). ФОСФОРМЕН ЛЕГИРЛЕНГЕН КРЕМНИЙ НАНОТАЛШЫҚТАРЫНЫҢ ЕКІНШІ РЕТТІК ИОНДЫҚ МАСС-СПЕКТРОСКОПИЯСЫ. Ashyq júıeler evolúsıasy máseleleri jýrnaly, 19(2), 75–81. вилучено із https://peos.kaznu.kz/index.php/peos/article/view/63

Шығарылым

Том 19 № 2 (2017): ЖУРНАЛ ПРОБЛЕМ ЭВОЛЮЦИИ ОТКРЫТЫХ СИСТЕМ

Бөлім

ФИЗИКА