ИМПУЛЬСТІК ВАКУУМДЫҚ ДОҒАЛЫҚ ПЛАЗМАДАН ТҰНДЫРЫЛҒАН МЫС ЖАБЫНДАРЫНЫҢ ҚҰРЫЛЫМЫНЫҢ ЭВОЛЮЦИЯСЫ
DOI:
https://doi.org/10.26577/JPEOS.2024.v26-i2-a6Кілттік сөздер:
вакуумдық доға, импульстік режим, металл жабыны, микроқұрылым, ақауларАннотация
Жұмыс вакуумдық доғалық плазмадан тұндырылған металл қабаттарының құрылымын зерттеуге арналған. Температуралық өрістердің жоғары градиенттері әсерінен және тығызды доғаның термиялық плазмалық жағдайында біркелкі емес құрылымды, кеуекті, бетінде металл тамшылары бар жабындар түзіледі. Термиялық плазмадан тұндырылған металл қабаттарын зерттеу осы жабындардың ерекше қасиеттері мен бірегей құрылымына байланысты өзекті болып табылады. Біздің зерттеуіміздің мақсаты импульстік жұмыс режимінде вакуумдық доғаның плазмасынан тұндырылған мыс жабынының құрылымының эволюциясын бақылау болып табылады. Әдістің ерекшелігі мынада: импульстік режим аз энергия тұтынуды қамтиды, сондықтан ол стационарлық доғаға қарағанда үнемді, алайда доғалық плазманың тән физикалық ерекшеліктері сақталады. Тәжірибелік мақсат – энергетика сасында қолдану үшін алюминийге жұқа мыс қабатын алу. Тәжірибелердің нәтижесінде 15-40 минут тұндыру уақытында алюминий астарларының бетінде мыс қабатының айтарлықтай тығыздалу процесі байқалды. Шөгу уақытының беттік ақаулардың мөлшеріне әсері талданған. Тұндырудан 30 минут бұрын қаптамада нанолшемді жоғары дисперсті сфералық құрылымының түзілуі байқалды, 30 минуттан кейін жабын құрылымының біртектілігі қалың қабатқа айналуы байқалды. Бұл әрекетті нано өлшемді шаң қабаттарының жабынының бастапқы қалыптасуымен түсіндіруге болады. Астар температурасы өзгерген кезде наноөлшемді кластерлер фазалық ауысулармен бірге ұлғаяды және ыдырайды. Ілеспе жағымсыз фактор металл оксиді фазаларының тұндыру болды. Зерттеудің бұл саласын дамыту импульстік доғаларда қабаттың шөгуінің жоғары жылдамдығына қол жеткізілетіндіктен қажет, сондықтан бұл әдісті дамыту арқылы жабындардың қасиеттерін жақсарту қажет
