ПЛАЗМОСТИМУЛЛИРОВАННОЕ ХИМИЧЕСКОЕ ПАРООСАЖДЕНИЕ ДИ-ОКСИДА ТИТАНА (TiO2)
Аннотация
В этой работе рассматривается получение пленки диоксида титана с использованием раствора TiCl4 с помощью плазмостимуллированного пароосаждения на поверхности кварцевого стекла и изучение ее микротсруктурного и оптического свойства TiO2. В процессе эксперимента были измерены спектры пропускания, отражения и Раман спектр, кроме того рассмотрен сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) оптической пленки.
Ключевые слова: диоксид титан, химическое пароосаждение, СЭМ измерение, коэффициент пропускания света, спектр отражения света