ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА ДО-ПОЛНИТЕЛЬНО ВОЗМУЩЕННОЙ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИМ ПОЛЕМ

Авторлар

  • A. U. Utegenov НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, Алматы, Казахстан
  • Y. A. Ussenov НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, Алматы, Казахстан
  • M. K. Dosbolayev
  • T. S. Ramazanov НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, Алматы, Казахстан

Аңдатпа

На данной работе представлены результаты по зондовой диагностике свойств плазмы в высокочастотном разряде с дополнительным возмущением постоянным электростатическим полем. Представлены вольтамперная характеристика электрического зонда в комбинированном разряде, а также аксиальное распределение температуры электронов при разных значениях напряжения постоянного поля.

Ключевые слова: высокочастотный разряд, плазма, электростатическое поле, зондовая диагностика, температура электронов

Жүктеулер

Жарияланды

2021-03-26