МЕТАЛЛ НЕГІЗІНДЕГІ МӨЛДІР ЖӘНЕ ӨТКІЗГІШ ЖҰҚА ҚАБЫҚШАЛЫ ЖАБЫНДАРДЫ ӘЗІРЛЕУ

Аңдатпа

Зерттеу объектісі магнетрондық тозаңдату арқылы қондырылған (мырыш, қалайы) металл тотықтары. Бұл жұмыста ZnO және SnO₂ металл тотықты жартылайөткізгіштерінің жұқа қабықшалардың элетрофизикалық қасиеттері зерттелінді. Реактивті магнетрондық тозандату әдісі арқылы металл тотықты қабықшалар алудың технологиялық режимі жасалынды. Қабықшаларды алу процессі кезінде төсеніш температурасы, шандату процецінде қысым мен газдық атмосфера, разряд қуаты сияқты технологиялық параметрлер өзгертіліп тұрды. Қалайы мен мырыш тотықтарының мөлдірлік коэффициенті мен меншікті кедергілерінің төсеніш температурасы мен жұмыс газындағы оттегі концентрациясынан тәуелділігі зерттелінді, қабықшаларды алу процесінің оңтайлы параметрлері анықталды. Байқалатын тәуелділіктер қабықшаның құрамының өзгеруімен және стехиометриядан ауытқуымен түсіндіріледі. Қабықшалар қасиетінің жасыту температурасынан, жасыту процесі кезінде атмосфераның газдық құрамынан тәуелділігі анықталды. Электрлік кедергілері төмен жоғары мөлдір металл тотықты қабықшалар алынды.