ВТОРИЧНАЯ ИОННАЯ МАСС-СПЕКТРОСКОПИЯ КРЕМНИЕВЫХ НАНОНИТЕЙ, ЛЕГИРОВАННЫХ ФОСФОРОМ

Авторы

  • G. K. Mussabek Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Алматы, Казахстан
  • K. K. Dikhanbayev Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Алматы, Казахстан
  • V. A. Sivakov Лейбниц Институт фотонных технологий, Йена, Германия
  • D. Yermukhamed Национальная Нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Алматы, Казахстан
  • A. S. Kurmash Национальная Нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Алматы, Казахстан
  • T. I. T.I. Taurbayev Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Алматы, Казахстан
  • A. S. Dzhunusbekov Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Алматы, Казахстан
  • Sh. B. Bainatova Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Алматы, Казахстан
        16 21

Аннотация

В настоящей работе представленны результаты исследований кремниевых нанонитей, легированных фосфором методом термодиффузии, с помощью вторичной ионной масс спектроскопии. Кремниевые нанонити были выращены на поверхности монокристаллических кремниевых пластин с полированной и шлифованной поверхностьюметодом металл стимуллированного химического травления. Легирования нанонитей  атомами фосфора происходило при температурах 900 – 9800С в течение 15-40 минут. С помощью вторичной ионной масс спектроскопии исследованно распространение атомов фосфора по глубине нанонитей, рассчитаны динамические профили распределения  примеси в образцах, полученных на полированной и шлифованной поверхности кремниевых пластин. В результате анализа динамических профилей вторичной ионной масс спектроскопии для распределения соединений Si-Р в образцах легированных кремниевых нанонитей было выявлено, что максимальная концентрация атомов фосфора в таких образцах локализована преимущественно в наноструктурированном слое, а в слой объемного кремния дифундирует очень малое количество.  Оценочная глубина залегания легирующей примеси в кремниевые нанонитей составляет около 1300 нм.

Ключевые слова. кремниевые нанонити, легирование фосфором, термодиффузия, вторичная ионная масс спектроскопия.

Загрузки

Опубликован

2021-01-23

Как цитировать

Mussabek, G. K., Dikhanbayev, K. K., Sivakov, V. A., Yermukhamed, D., Kurmash, A. S., T.I. Taurbayev, T. I., Dzhunusbekov, A. S., & Bainatova, S. B. (2021). ВТОРИЧНАЯ ИОННАЯ МАСС-СПЕКТРОСКОПИЯ КРЕМНИЕВЫХ НАНОНИТЕЙ, ЛЕГИРОВАННЫХ ФОСФОРОМ. Журнал проблем эволюции открытых систем, 19(2), 75–81. извлечено от https://peos.kaznu.kz/index.php/peos/article/view/63