МОДЕЛИРОВАНИЕ ОСНОВНЫХ СВОЙСТВ КОМПЛЕКСНОЙ ПЛАЗМЫ ВЫ-СОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА
Аннотация
В данной работе приведена численная модель для описания основных свойств комплексной плазмы высокочастотного емкостного разряда. Показан алгоритм расчета методов частиц в ячейках и Монте-Карло. Приведены результаты моделирования кинетических и транспортных свойств (плотность электронов и ионов, температура электронов, ток электронов, скорости нагрева электронов и ионов) комплексной плазмы. Показана, что подавляющая часть ионизации происходит внутри и впереди расширенных слоев из-за сильного ускорения относительно небольшого числа γ-электронов, излучаемых из электродов в сильном электрическом поле вследствие вторичной электронной эмиссии.
Ключевые слова: Комплексная плазма, Высокочастотный разряд, Метод частиц в ячейках, Метод Монте-Карло.
