ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ КОМПЛЕКСНОЙ ПЛАЗМЫ ВЫСОКОЧАСТОТ-НОГО РАЗРЯДА С АЛЬТЕРНАТИВНОЙ ФАЗОЙ
Аннотация
В данной работе представлены результаты исследования свойств комплексной плазмы высокочастотного разряда с альтернативной фазой. Были проведены компьютерное моделирование свойств комплексной плазмы высокочастотного разряда с альтернативной фазойна основе методов частиц в ячейках и Монте-Карло. Получены пространственно-временные распределения характеристик плазмы высокочастотного разряда с альтернативной фазой. Показана, что применение сигнала ВЧ возбуждения с альтернативной фазой приведет к существенным повышениям характеристик плазмы высокочастотного разряда. В случае напряжения альтернативного фазового возбуждения, динамика электронов существенно изменяется. Сильный нагрев электронов следует к быстрому расширению слоев и, следовательно, плотность электронов и ионов, а также температура электронов повышаются до более высоких значений по сравнению со случаем гармонического ВЧ возбуждения.
Ключевые слова:Комплексная плазма, Высокочастотный разряд, Метод частиц в ячейках, Метод Монте-Карло.
