ВЛИЯНИЕ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПЛАЗМЫ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА
Аннотация
В данной работе показаны результаты экспериментального исследова-
ния процессов образования и свойств плазмы с наночастицами при катодном распыле-
нии. Эксперименты проводились в газовом разряде постоянного тока. Были исследованы
режимы горения газового разряда при малых (1 мА) и при больших (1416 мА) разряд-
ных токах. При больших значениях газоразрядного тока полый катод является источни-
ком быстрых электронов, а также эродированных и адсорбированных атомов и молекул.
Эти процессы сопровождается с катодным распылением. Во время катодного распыле-
ния, тепловой поток атомов и молекул попадая в объем газового разряда, мгновенно коа-
гулируется и образуют наночастицы. Кроме этого, за счет агломерации между наноча-
стицами образуются нанокаластеры. Этому свидетельствует полученные СЭМ изображе-
ния наночастиц (~120 нм) и нанокластеров (~500 нм). Полученные эмиссионные спектры
атомов газового разряда показывают, что продукты эрозии катода в газовом разряде при-
сутствует только в виде наночастиц и нанокластеров. Таким образом, при катодном рас-
пылении газовый разряд загрязняется, что приводят к образованию комплексной (ком-
плексной) плазмы. Плазмы газового разряда с наночастицами. Выявлено, что чистота
эксперимента зависит от адсорбированного газа на поверхности катода. Обнаружено, что
выход адсорбированного газа с поверхности катода сильно влияет на общее давление газа
в газоразрядной трубке. Кроме того, небольшое изменение давления газа в трубке также
возможно с присутствием молекулярного азота. Молекулярный азот в газовом разряде с
большим током диссоциируется на атомарный азот, что приводят к увеличению общего
давления в трубке.
