ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ ДЛЯ КРЕМНИЕВЫХ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ

Аннотация

Рассчитаны спектры отражения, пропускания и поглощения неоднородных слоев, состоящих из пористого кремния и нанокомпозита Si-SiO₂ на поверхности кремния. Проанализировано влияние профиля распределения параметров среды на прохождение электромагнитных волн через систему, состоящую из кремниевой подложки и градиентного антиотражающего покрытия. Методом электрохимического анодирования сформированы слои нанопористого кремния. Исследована зависимость спектрального коэффициента отражения от режимов формирования слоя.