РАЗРАБОТКА ПРОЗРАЧНЫХ, ПРОВОДЯЩИХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛОВ
Аннотация
Объектом исследования являются тонкие пленки оксидов металлов (цинк, олово), полученное магнетронным осаждением. В работе исследованы электрофизические свойства тонких пленок металлооксидных полупроводников ZnO иSnO2. Отработаны технологические режимы получения металлоокисдных пленок методом реактивного магнетронного распыления. В процессе получения пленок менялись технологические параметры –температуры подложки, давление и газовая атмосфера в процессе напыления, мощность разряда. Исследованы зависимости от температуры подложки и концентрации кислорода в рабочем газе коэффициента прозрачности и удельного сопротивления пленок оксида олова и цинка, определены оптимальные параметры процесса получения пленок. Наблюдаемые зависимости объясняются изменением состава пленок и откланением от стехиометрии. Определены зависимости свойств пленок от температуры отжига, от газового состава атмосферы в процессе отжига. Получены высокопрозрачные металлооксидные пленки с низким электрическим сопротивлением.
Ключевые слова: Оксиды металлов ZnO иSnO2, электрическое сопротивление, электрофизические свойства.
