ПЛАЗМОСТИМУЛЛИРОВАННОЕ ХИМИЧЕСКОЕ  ПАРООСАЖДЕНИЕ ДИ-ОКСИДА ТИТАНА (TiO2)

Sh. Zh. Zhandildayeva; S. B. Aldabergenova; Sh. B. Baiganatova; K. K. Dikhanbayev; Ye. T. Taurbayev

Авторы

Sh. Zh. Zhandildayeva Казахский Национальный Университет имени аль-Фараби, г. Алматы, Республика Казахстан
S. B. Aldabergenova Казахский Национальный Университет имени аль-Фараби, г. Алматы, Республика Казахстан
Sh. B. Baiganatova Казахский Национальный Университет имени аль-Фараби, г. Алматы, Республика Казахстан
K. K. Dikhanbayev Казахский Национальный Университет имени аль-Фараби, г. Алматы, Республика Казахстан
Ye. T. Taurbayev Казахский Национальный Университет имени аль-Фараби, г. Алматы, Республика Казахстан

Аннотация

В этой работе рассматривается получение пленки диоксида титана с использованием раствора TiCl₄ с помощью плазмостимуллированного пароосаждения на поверхности кварцевого стекла и изучение ее микротсруктурного и оптического свойства TiO₂. В процессе эксперимента были измерены спектры пропускания, отражения и Раман спектр, кроме того рассмотрен сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) оптической пленки.

Ключевые слова: диоксид титан, химическое пароосаждение, СЭМ измерение, коэффициент пропускания света, спектр отражения света