ВАКУУМДЫҚ ДОҒАЛЫҚ ПЛАЗМАДАН ӘР ТҮРЛІ СУБСТРАТТАРДА ТҰНДЫРЫЛҒАН МЕТАЛЛ ЖАБЫНДАРЫНДАҒЫ МИКРОҚҰРЫЛЫМДАРДЫҢ ҚАЛЫПТАСУ ЕРЕКШЕЛІКТЕРІ. ЖПЭОС [Internet]. 2025 Dec. 20 [cited 2026 Sep. 4];27(2):35-43. Available from: https://peos.kaznu.kz/index.php/peos/article/view/349