“ВАКУУМДЫҚ ДОҒАЛЫҚ ПЛАЗМАДАН ӘР ТҮРЛІ СУБСТРАТТАРДА ТҰНДЫРЫЛҒАН МЕТАЛЛ ЖАБЫНДАРЫНДАҒЫ МИКРОҚҰРЫЛЫМДАРДЫҢ ҚАЛЫПТАСУ ЕРЕКШЕЛІКТЕРІ”. Ashyq júıeler evolúsıasy máseleleri jýrnaly 27, no. 2 (December 20, 2025): 35–43. Accessed July 14, 2026. https://peos.kaznu.kz/index.php/peos/article/view/349.