[1]
“ВАКУУМДЫҚ ДОҒАЛЫҚ ПЛАЗМАДАН ӘР ТҮРЛІ СУБСТРАТТАРДА ТҰНДЫРЫЛҒАН МЕТАЛЛ ЖАБЫНДАРЫНДАҒЫ МИКРОҚҰРЫЛЫМДАРДЫҢ ҚАЛЫПТАСУ ЕРЕКШЕЛІКТЕРІ”., ЖПЭОС, vol. 27, no. 2, pp. 35–43, Dec. 2025, doi: 10.26577/JPEOS202527344.