“ВАКУУМДЫҚ ДОҒАЛЫҚ ПЛАЗМАДАН ӘР ТҮРЛІ СУБСТРАТТАРДА ТҰНДЫРЫЛҒАН МЕТАЛЛ ЖАБЫНДАРЫНДАҒЫ МИКРОҚҰРЫЛЫМДАРДЫҢ ҚАЛЫПТАСУ ЕРЕКШЕЛІКТЕРІ”. (2025) Ashyq júıeler evolúsıasy máseleleri jýrnaly, 27(2), pp. 35–43. doi:10.26577/JPEOS202527344.