ВАКУУМДЫҚ ДОҒАЛЫҚ ПЛАЗМАДАН ӘР ТҮРЛІ СУБСТРАТТАРДА ТҰНДЫРЫЛҒАН МЕТАЛЛ ЖАБЫНДАРЫНДАҒЫ МИКРОҚҰРЫЛЫМДАРДЫҢ ҚАЛЫПТАСУ ЕРЕКШЕЛІКТЕРІ. Ashyq júıeler evolúsıasy máseleleri jýrnaly, v. 27, n. 2, p. 35–43, 20 Dec.2025.