ВАКУУМДЫҚ ДОҒАЛЫҚ ПЛАЗМАДАН ӘР ТҮРЛІ СУБСТРАТТАРДА ТҰНДЫРЫЛҒАН МЕТАЛЛ ЖАБЫНДАРЫНДАҒЫ МИКРОҚҰРЫЛЫМДАРДЫҢ ҚАЛЫПТАСУ ЕРЕКШЕЛІКТЕРІ. ЖПЭОС. 2025;27(2):35-43. doi:10.26577/JPEOS202527344